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FMA-A2000系列OMEGA电子质量流量计/控制器性能出众、 功能多样、设计先进、外形紧凑。FMA-A2000利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。无需进行温度、压力或平方根校正。FMA-A2300/2400系列配备LCD显示屏,并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。
FMA-A2000测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表,请参阅下一页的量程表。 FMA-A2000系列与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。
OMEGA的质量流量控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。
规格
精度:满量程的±1%(包括线性度)
重复性:满量程的±0.15%或者更佳
量程比:100:1
响应时间:5秒
气体环境温度:0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
温度系数:每1°C为满量程的0.05%或更佳
压力系数:每psi为满量程的0.01%或更佳
zui低压力要求:
流量计:1英寸水柱
zui大流速为1 SLM的控制器:1 psi
流速大于20 SLM的控制器:20 psi
质量流量控制器的压差:<5 LPM,5 ~ 50 psi(标准);>5 LPM,20 ~ 40 psi(标准)
气体zui大压力:
聚甲醛:250 psig
316不锈钢:500 psig
泄漏完整性:1 x10-6 cc/min氦气或更佳
接液部件:
标配:聚甲醛、氟橡胶O形圈
选配:316不锈钢、氟橡胶O形圈
连接口:¼ FNPT(标配);
¼"压合接头(适用于所有不锈钢型号流量计)
输入/输出连接口:9针sub-D连接器
控制信号:0 ~ 5 Vdc
控制阀:常闭电磁阀
输出信号:线性0 ~ 5 Vdc(zui小负载1000 Ω),4 ~ 20 mA(环路电阻500 Ω)
安装螺纹:
316不锈钢壳体:6⁄32"螺纹
聚甲醛材料:#4/6自攻螺丝
输入电源:
流量计:24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
控制器:24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
重量:1.25 kg (2.75 lb)(含电源)
外形尺寸:参见图纸
量程表
代码 |
SCCM |
代码 |
SLM |
代码 |
SLM |
0 |
0~10 |
6 |
0~1 |
14 |
0~35 |
1 |
0~20 |
7 |
0~2 |
15 |
0~40 |
2 |
0~50 |
8 |
0~5 |
16 |
0~45 |
3 |
0~100 |
9 |
0~10 |
17 |
0~50 |
4 |
0~200 |
10 |
0~15 |
18 |
0~55* |
5 |
0~500 |
11 |
0~20 |
19 |
0~60* |
— |
— |
12 |
0~25 |
20 |
0~65* |
— |
— |
13 |
0~30 |
21 |
0~70* |
— |
— |
— |
— |
22 |
0~75* |
— |
— |
— |
— |
23 |
0~100* |
订货信息:
型号 |
说明 |
FMA-A21(*) |
不带显示屏的质量流量计,可选量程范围从0~10SCCM到0~100SLM |
FMA-A22(*)-SS-(**) |
不带显示屏的质量流量控制器,带控制阀,可选量程范围从0~10SCCM到0~50SLM,316不锈钢壳体 |
FMA-A23(*) |
带显示屏的质量流量计,可选量程范围从0~10SCCM到0~100SLM |
FMA-A24(*)-SS-(**) |
带显示屏的质量流量控制器,带控制阀,可选量程范围从0~10SCCM到0~50SLM,316不锈钢壳体 |
配件:
型号 |
说明 |
FMA-200PWA |
备用插座式插接电源(90 ~ 260 Vac) |
SSLK-14-14 |
316不锈钢压合接头,¹⁄₄ NPT,¹⁄₄"外径管 |
配备操作手册、9针sub-D连接器、电源及NIST校准(无数据点)。
* 请插入页面顶部量程表中的量程代码,凑齐订购型号。
** 指定气体、入口/出口压力和温度。
欲购可选316不锈钢壳体仪表,请将后缀“-SS”添加到型号中(需付额外费用)(1⁄4"压合接头为标配)。对于FMA-A22与FMA-A24控制器,不锈钢壳体是标配。
注:所有指定的控制器流量范围均针对20 psig时的氮气或空气;在用于其它气体时,需要使用相关系数确定流量。
要获得5测量点NIST校准证书,请将后缀“-NIST5”添加到型号中(无额外费用)。
要获得10测量点NIST校准证书,请将后缀“-NIST10”添加到型号(需付额外费用)。
订购示例:
FMA-A2316,带显示屏的质量流量计,针对20 psig入口压力和室温的氮气而校准,量程0 ~ 45 SLM。∆P: 5 ~ 20 psi。
FMA-A2102-SS,316不锈钢壳体质量流量计,不带显示屏,量程0 ~ 50 SCCM。