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接口
FMA6600系列和FMA6700系列流量计的所有功能均可通过本地四台访问按键键盘和液晶屏。数字接口通过RS485(可选RS-232)工作,且提供相关内部数据访问,包括:流量、温度、压力读数、自动零、总计器和报警设置、气体表、换算系数和工程单元选择,动态响应补偿和线性化表调整。模拟接口提供0到5伏直流或0到10伏直流或4到20毫安输出用于流量、压力和温度(跳线)可选择)。
自动归零
FMA6600和FMA6700系列支持可激活的自动传感器零偏移调节本地通过键盘进行,或通过数字接口远程作。自动归零功能完全不需要在自动归零过程中,流量通过表。会做出启动、停止或保存的安排通过数字指令自动归零的当前值。
总量:
气体总体积通过与时间的实际流量积分计算。键盘菜单和数字接口命令均可实现:
将总计器设置为零
开始在预设流量下进行总计
在预设总体积下分配动作
开始/停止对流量进行总计
读totalizer totalizer条件变为真,当totalizer读数和“停止于Total”体积是相等的。
流量报警
高流量和低气流量警报限额可通过键盘预设,或通过数字接口远程编程。当电流流量读数相等或高于/低于对应时,警报条件即为真高低警报级别的数值。警报动作可以按预设的延迟间隔(0-3600秒数)以激活接点关闭器(分别用于高电平报警和低电平报警)。压力报警(FMA6700串联)高压和低压报警限值可以通过键盘预设,或远程通过数字方式设置接口。当当前压力读数相等或更高时,压力报警条件即为真实比对应的高压报警设置值或等于或更低于相应的低压报警设置。可以指定警报动作来激活接点近门器(分别用于高压和低压报警)。温度报警(FMA6700系列)高低气体温度ALARM限额可以通过键盘预编程,也可以通过数字接口远程编程。温度报警当当前温度读数等于或高于对应温度时,条件即为真高温报警设置的值,或与相应的低温值相等或更低温度报警设置。可以指定警报动作来激活接点近门器(分别用于高温和至低温度报警)。
工程单位
流量设定点、测量气体流量及相关的总量器数据在工程中直接进行缩放通过前面板按键或数字接口进行设备作。支持以下计量单位:百分比F.S.、L/min、L/h、mL/min、mL/h、SCFH、SCFM、LbPH、LbPM、用户定义EU。
多气体校准
FMA6600系列能够存储多达10种气体的初级校准数据。该功能允许同一FMA6600系列在保持额定精度的同时,对多种气体进行校准每。
标准10点NIST校准
可选,至多可订购9个额外10点校准,每气需额外充电。
转换系数
FMA6600和FMA 6700系列存储至多32种气体的转换系数。此外,为用户自定义转换因子提供了配置。换算因子可以应用于任意十个气体校准通过按键或数字接口命令进行。
接触闭合
提供两组干式接点继电器输出以驱动用户提供的设备。这些是可通过本地键盘或数字接口编程,使得继电器在指定事件发生(例如当流量、压力或温度的低或高流量或温度报警限制被超过时)或当总计器达到指定值时)。
至大泄漏完整性:
氦气1×10-9 scc,泄漏到外部环境。
规格
精度:
FMA6700:± FS的1%含线性度[0至50℃,0.35至6.8巴(5至100 psia)]
FMA6600:校准条件下FS的±1% [101 KPa(14.7 psia)和21.1℃(70℉)]
压力范围:0至6.8巴(100 psig)(测量)
压力精度:FS
温度范围的±1%)0至50℃(测量)
温度精度:±1℃
重复性:±0.15% 全刻度
响应时间:单位可达10 LPM @1.0秒,单位超过10 LPM @2秒,距离设定点±2%以内,超过25%至100%
温度系数 温度系数:0.15% 或更高
压力系数:0.01% 全刻度/psi(0.07 bar)或更高
至大气体压力:6.8 bar(100 psig)
至大爆发压力:13.6 bar (200 psig)
至大压降:8 psi(流量100 L/min)
气体及环境温度:5 至 50℃(41 至 122℉)
输出信号:线性 0 至 5 V直流(3000 Ω 分钟负载阻抗);0至10伏直流(6000 Ω微阻抗);可选4到20毫安(500. max环路电阻)。至大噪声峰值20 mV。
输入功率:可选择三种不同电压:标准为±15V直流(±至大200 mA)或+12V直流(至大300 mA);+24V直流(至大250毫安)可选(-24VDC);电路板内置极性反转保护。可复位保险丝提供电源输入保护。
流体接触材料:316不锈钢,FKM O型圈。可选EPDM或全氟弹性体O型圈
连接方式:
型号≥15 LPM:标准1/4英寸压缩接头
20至50 LPM型号:标准1/4英寸压缩接头
60至100 LPM型号:标准3/8英寸压缩接头
显示:128 x 64图形带背光的液晶显示器(至多8行文字)
校准:标准一,级10点NIST校准。可选订购至多9项额外校准,按气体额外充电。
CE合规:EN 55011 1类B类;EN50082-1
环境(依IEC 664):安装等级II;污染等级II
预计运输重量:
15 SLPM以下型号 SLPM:1.68公斤(3.7磅)
20至100 LPM型号:1.97公斤(4.34磅)
OMEGA流量计订货信息:
|
流量计型号 |
流量/压力/温度型号 |
至大流量(n2) |
压力接头 |
|
FMA6601 |
FMA6701 |
10 cc/min SCCM |
¹⁄₄" |
|
FMA6602 |
FMA6702 |
20 cc/min SCCM |
¹⁄₄" |
|
FMA6603 |
FMA6703 |
50 cc/min SCCM |
¹⁄₄" |
|
FMA6604 |
FMA6704 |
100 cc/min SCCM |
¹⁄₄" |
|
FMA6605 |
FMA6705 |
200 cc/min SCCM |
¹⁄₄" |
|
FMA6606 |
FMA6706 |
500 cc/min SCCM |
¹⁄₄" |
|
FMA6607 |
FMA6707 |
1 LPM |
¹⁄₄" |
|
FMA6608 |
FMA6708 |
2 LPM |
¹⁄₄" |
|
FMA6609 |
FMA6709 |
5 LPM |
¹⁄₄" |
|
FMA6610 |
FMA6710 |
10 LPM |
¹⁄₄" |
|
FMA6611 |
FMA6711 |
15 LPM |
¹⁄₄" |
|
FMA6612 |
FMA6712 |
20 LPM |
¹⁄₄" |
|
FMA6613 |
FMA6713 |
30 LPM |
¹⁄₄" |
|
FMA6614 |
FMA6714 |
40 LPM |
¹⁄₄" |
|
FMA6615 |
FMA6715 |
50 LPM |
¹⁄₄" |
|
FMA6616 |
FMA6716 |
60 LPM |
³⁄₈" |
|
FMA6617 |
FMA6717 |
80 LPM |
³⁄₈" |
|
FMA6618 |
FMA6718 |
100 LPM |
³⁄₈" |
电源单独出售。
注:流量为STP条件下氮气(1气压下21.1℃(70℉))的标准)。
对于12V直流电源,型号后加上“-12VDC”后缀;价格加100美元。
对于24V直流电力,型号后加上“-24VDC”后缀;价格加200美元。
对于花氟弹性体、Buna或EPR环、录像机配件或RS232通信,请咨询Flow Engineering获取报价。
每多加一个校准,零件号后加上-(*),成本加300美元。
校准仅在环境温度下进行。
对于氧气清洗过的设备,型号后加上后缀“-C”;价格加125美元。
(上述“注释”中显示的期权以美元计价)